MASK翻轉台車是什麼?

2025-06-24

MASK翻轉台車是一種能將光罩(Photomask)或大型MASK元件在水平與垂直方向進行自動翻轉與搬運的設備,並可結合檢測功能,進行搬運過程中的QA檢查。適合:

  • 1.面板製程(如TFT-LCD、AMOLED)

  • 2.半導體光罩製程(Reticle搬運)

  • 3.精密製造設備中的MASK上/下料與清潔前後處理