MASK翻轉台車是什麼?
2025-06-24MASK翻轉台車是一種能將光罩(Photomask)或大型MASK元件在水平與垂直方向進行自動翻轉與搬運的設備,並可結合檢測功能,進行搬運過程中的QA檢查。適合:
1.面板製程(如TFT-LCD、AMOLED)
2.半導體光罩製程(Reticle搬運)
3.精密製造設備中的MASK上/下料與清潔前後處理
MASK翻轉台車是一種能將光罩(Photomask)或大型MASK元件在水平與垂直方向進行自動翻轉與搬運的設備,並可結合檢測功能,進行搬運過程中的QA檢查。適合:
1.面板製程(如TFT-LCD、AMOLED)
2.半導體光罩製程(Reticle搬運)
3.精密製造設備中的MASK上/下料與清潔前後處理